廣州潽拓光電科技有限公司--ULVAC愛(ài)發(fā)科分子泵維修;
除了可以承受更大的氣體流量,譜拓系列分子泵還擁有其他TwissTorr分子泵除高壓縮比之外的所有特點(diǎn):
先進(jìn)的連接選項(RS232、NFC、藍牙等),可以通過(guò)A-Plus軟件連接電腦或者通過(guò)VacuumLinkAPP用手機進(jìn)行無(wú)線(xiàn)操控
AFS懸浮軸承技術(shù),抗震性好,噪音低
免維護軸承,零運行成本
無(wú)油運行,可確保真空系統潔凈
體積小巧,可安裝在任何位置,有利于輕松集成
防輻射和防磁場(chǎng)設計,無(wú)嵌入式電子設備,可在強磁場(chǎng)和輻射環(huán)境下運行
低電磁輻射,確保不會(huì )干擾工藝制程
我們此前曾發(fā)布過(guò)幾篇文章,講到使用真空產(chǎn)品如何讓企業(yè)節約成本、嘗到甜頭(詳情請點(diǎn)擊:這里)。今天,我們再給大家介紹一個(gè)在節能燈制作中應用分子泵節約成本的案例。
為什么要把替換為分子泵機組?在制造節能燈的企業(yè)單位,有相當一部分都采用圓排機自動(dòng)線(xiàn),生產(chǎn),產(chǎn)品質(zhì)量一致性好。
但是,圓排機一般配置均采用直聯(lián)式真空泵和譜拓真空泵作為機組,這樣便帶來(lái)了新的問(wèn)題:①耗電量高;②噪音大;③占用面積大。因此,各照明設備企業(yè)和照明生產(chǎn)企業(yè)都積極尋找新工藝新方法來(lái)進(jìn)行技改,以求改善這些狀況。在這個(gè)過(guò)程中,公司與上海涌真機械有限公司不謀而合,并與上海正貝照明一起達成共識,用分子泵機組來(lái)替代。
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通用的沉積技術(shù)有化學(xué)氣相淀積(CVD)、蒸發(fā)和濺射PVD。一般來(lái)說(shuō),其中還要夾雜低溫(≤500℃)退火工藝等熱處理工藝,用以增進(jìn)金屬層和半導體之間的低電阻接觸、消除內應力等。設備運行過(guò)程中需要高潔凈的真空環(huán)境,一般采用以磁懸浮分子泵為主的無(wú)油真空系統。
刻蝕是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要材料的過(guò)程??涛g的基本目標是在涂膠的硅片上正確地掩膜圖形?,F代化的干法刻蝕設備包括復雜的機械、電氣和真空系統,同時(shí)配有自動(dòng)化的刻蝕終點(diǎn)檢測和控制裝置??涛g應用工況復雜,清潔性差,充入特種氣體種類(lèi)繁多,因此需要特殊處理的干泵和磁懸浮分子泵。
離子注入設備:離子注入是指在真空環(huán)境下,當離子束射向固體材料時(shí),受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低下來(lái),并很終停留在固體材料中的現象。離子注入是半導體表面附近區域進(jìn)行摻雜的主要技術(shù),其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類(lèi)型。離子注入機是集成電路制造工序中的關(guān)鍵設備,需要高清潔的真空環(huán)境,以保證離子摻雜濃度和劑量的準確性。
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分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度有什么影響?
今天,小編將向大家介紹分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度有什么影響,希望對大家有所幫助。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種泵。分子泵是獲得高和超高的關(guān)鍵設備之一。
它被廣泛應用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門(mén)。它操作簡(jiǎn)單、啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流區域內對各種氣體的有效抽速幾乎不變,對分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無(wú)油的高和超高環(huán)境。
分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高重要部位,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著(zhù)氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高泵與低泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過(guò)這個(gè)壓力,將使高泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過(guò)50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。
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